Informazioni tecniche
La Camera Pulita è un laboratorio della Sezione di Perugia dell' INFN, sviluppato in collaborazione con il Dipartimento.
È composta da due unità adiacenti: la camera pulita "A" e la camera pulita "B", collegate fra di loro tramite una porta automatica. Questa configurazione permette di operare alle due unità sia in maniera indipendente (diverse impostazioni di temperatura ed umidità), sia come un ambiente unico, a seconda delle esigenze specifiche.
| CAMERA PULITA "A" | CAMERA PULITA "B" | |
| Classe di purezza: | ISO 4 (FED 209D M 5,5) | ISO 2 (FED 209D M 3,5) |
| Intervallo di temperatura: | ± 1°C | ± 1°C |
| Intervallo di umidità: | ± 5% | ± 5% |
| Flusso laminare: | M 3,5 n° 4-dim 120x60 cm | M 3,5 n° 1-dim 200x60 cm |
Attrezzature principali
- Bilancia
- Bonding Delvotec
- Camalot
- Cappa
- Gantry
- Forno
- Kulicke Soffa
- Ladder
- Microscopi
- Mitutoyo BHN506
- Mitutoyo 776
- PA 200
- Sigillatrice vuoto
- Silicon Survey
- Stazione test Kapton
- Strumenti Keithley
- Vasca ultrasuoni
Documentazione (Norme generali)
- Autorizzazione 675.96 Vers.1
- Dichiarazione Sicurezza
- Norme comportamentali Camera Bianca o Pulita
- Norme di sicurezza e comportamentali Camera Bianca
Note
- L'esperienza per la progettazione, realizzazione e gestione della Camera Pulita dell' INFN presso il Dipartimento di Fisica è stata fondamentale per la realizzazione del Laboratorio SERMS di Terni.
Referente per il contenuto di questa pagina o articolo: Bruno Checcucci
Referente tecnico per l'inserimento dei contenuti nel sito: ... ... (Mirko.Mariotti
unipg.it)
- Ultima modifica: 10 Novembre 2015
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